电动传动装置 电动滑台的直线导轨型式
电动滑台使用的直线导轨是THK株式会社制造的。
各个系列使用的型号如下表所示。
| 系列 | 型号 | 直线导轨型号 |
|---|---|---|
| EAS系列 | EASM2 | SRS12M |
| EASM4 | SHS15V | |
| EASM6 | SSR25XW | |
|
EZS系列 (包括无尘室对应) |
EZSM3 | SRS12WM |
| EZSM4 | SRS15WM | |
| EZSM6 | SRS15WM×2块 |