特征 | 步进电动机 真空型

真空型电动机的特征与结构

• 为了抑制气体释放，电动机外壳使用铝、不锈钢材质，表面不涂装。 此外，轴承使用真空用润滑油。
• 释放的气体与通常洁净环境下的成分相同，因此无须担心污染真空环境。
• 使用可承受热处理温度的耐热用线圈。

真空型电动机的优点

使设备小型化，扩大设计的自由度

在大气中设置电动机时，需使用运转导入机等，设备体积会变大。 真空型电动机可将设置于真空环境内，因此可让设备小型化。 此外，αSTEP AR 系列不需要位置确认用传感器，有助于降低成本。

使用αSTEP AR 系列，无需编码器即可进行位置监控

αSTEP AR 系列除了通过闭环控制监视电机信息外，还搭载各种警示输出功能。 不需要真空对应型的昂贵编码器。

搭载转子位置传感器（解析器），可检测电动机信息并控制电动机。

在真空中实现各种运动

常用于各式各样的用途，如半导体制造设备及电子显微镜的测量机器等。

真空型电动机可对应真空环境下的多轴平台，解决难以设计旋转导入机的问题。 可在真空中组合复数轴，实现更复杂的动作。

低损失的αSTEP AR 系列，最适合用在真空中解析、加工等用途

常被运用于低真空中的物质解析、高输出激光加工、真空镀膜等需要在真空环境下定位的用途。

有助于维持真空环境的质量

抑制气体释放的设计

为了抑制产生气体释放，电动机表面无进行涂装，轴承部使用真空用润滑油。 主要的残留气体与通常洁净环境下的成分相同，使用时无须担心污染真空室。

抑制温度上升维持真空压

通常，随着电动机电流值增加，真空压力会变高。 电动机温度上升主因是线圈或树脂材料的水分蒸发增加而导致。 若要让真空压维持较低状态，重点在于让电动机保持较低的温度。

αSTEP AR 系列具有依据负载转矩大小调整电动机电流的功能（CC 模式）。 使用 CC 模式可抑制电动机温度，并使维持在低真空压。

下图为连续运转及运转周期比率（断续运转）时的转速—温度特性。

• 即使是温度容易升高的连续运转，若转速维持在 900r/min 以下，外表温度不会超过 100°C。
• 500r/min 周期运转时的外壳温度与各模式相比，CC 模式时为 46°C，通常模式时为 80°C。 CC 模式下温度降低 34°C。

产品阵容

电源输入	系列名称	基本步距角 [°]	真空度 [Pa]	安装尺寸 [mm]				质量 [kg]	定价
				28	42	60	85
AC		0.36	10-5	-	●	●	●	0.47～1.9	167,300日元～ （电动机、驱动器）
DC				●	●	●	●	0.2～3
DC		0.72	10-4	-	●	●	-	0.21～1.3	114,400日元～ （电动机、驱动器）
			10-5	●	-	-	-	0.11～0.2

详情请咨询营业网点或客户咨询中心。

技术资料

在 RENGA 技术报告书中，刊登了关于真空电动机的详细信息和资料。

• 真空用步进电动机及其特性
  （2008年11月发行）
  记载了关于真空的基础内容。
• 搭载真空对应解析器传感器的 AR 系列真空型的开发
  （2011年6月发行）
  记载了 αSTEP AR 系列专门针对真空的内容。