步进电动机全闭环控制系统经济实惠地提升对准精度
| 行业 | 半导体、显示屏、电子部件 |
|---|---|
| 工序・装置名 | 精密光学检查设备 |
| 课题 | 提升定位精度, 降低成本, 减少振动 |
课题：对准组合的高精度化与设备成本的削减
传统的问题点
- 由于机构组装误差，对准精度不稳定。
- 希望减少机构的微小振动。
- 虽然使用了伺服电动机的全闭环控制，但希望比现有设备降低设备成本。
解决方案：配备5相步进电动机的全闭环控制，实现成本降低与高精度定位
在精密光学设备中，组装误差和细微振动会影响对准精度。
通过结合CVD系列全闭环控制型驱动器和5相步进电动机的谐波减速机型，可以在保持步进电动机使用方便性的同时，实现高精度的定位。
防止过规格的全闭环控制，仅用于最终位置调整
步进电动机擅长于短距离的定位。在像最终位置调整轴这样定位距离较短的情况下，使用5相步进电动机和CVD系列全闭环控制型驱动器可以降低系统构建成本。在这个系统中，开环控制进行的定位反馈从线性编码器发送到驱动器，并在位置指令完成时切换到全闭环控制进行位置修正。全闭环控制下的最终调整可以实现亚微米级的高精度定位。
CVD系列全闭环控制型驱动器用于最终位置调整的图像
与谐波减速机型的组合，实现高定位精度
使用无齿隙的谐波减速机5相步进电动机可以获得高定位精度。高减速比的谐波减速机型对负载波动具有很强的抵抗力，可以减少电动机轴的振动，有助于稳定的定位。
步进电动机的全闭环控制，降低构成成本
CVD系列全闭环控制型的价格为49,200日元，可以经济地构建全闭环控制系统。与小型高转矩的5相步进电动机PKP/PK系列组合，也有助于节省空间。
推荐产品：CVD系列全闭环控制型
可组合的电动机
- 5相步进电动机PKP系列
- 5相步进电动机PK系列
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