应对微细化要求的步进电动机的全闭环控制
| 行业 | 半导体、显示屏、电子部件 |
|---|---|
| 工序・装置名 | 半导体制造装置（检查、离子注入、曝光等） |
| 课题 | 提高定位精度, 降低成本, 微振 |
课题：希望提高对准精度
传统的问题点
- 在半导体制造工序中，希望应对微细化要求，但现状是定位精度不足。
- 希望在停止时能够迅速达到完全静止。
解决方案：使用全闭环控制的步进电动机，实现亚微米级的高精度定位
在继续微细化趋势的半导体制造工序等方面，有时提高对准精度成为课题。
如果是CVD系列全闭环控制型，可以实现5相步进电动机的全闭环控制。在定位开始时，利用步进电动机的高响应进行开环控制，当位置指令完成时，使用外部传感器的反馈进行位置修正。
使用支持线性编码器的全闭环驱动器提高精度
CVD系列全闭环控制型支持线性编码器，可以直接反馈机构上的位置，并修正检测位置与指令位置之间的差异。结合使用线性编码器的分辨率，可以实现亚微米级的高精度定位。
使用支持线性编码器的CVD系列全闭环控制型实现高精度定位的图像
因为是步进电动机，所以停止时无微振
CVD系列全闭环控制型，由于使用步进电动机，因此在定位完成时不会发生微振，可以直接静止。此外，也不需要像伺服电动机那样的机构配合进行增益调整。
实现全闭环控制成本降低，驱动器尺寸小型化
CVD系列是业界最小级别的紧凑型、轻量级高性能驱动器，有助于节省空间。全闭环控制型的价格为49,200日元，可以经济地构建全闭环控制系统。
驱动器的接线用连接器准备了引脚方向相反的产品，也适用于狭窄空间内的接线。
推荐产品：CVD系列全闭环控制型
可组合的电动机
- 5相步进电动机PKP系列
- 5相步进电动机PK系列
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