压缩电控柜空间的步进电动机驱动器的省配线・省空间化案例

行业 半导体、显示屏、电子部件
工序・装置名 半导体制造装置(检查、蚀刻、成膜、绑定等)
课题 减少配线工时, 省空间化, 减少部件点数/管理工时

课题:2相/5相步进电动机的并用导致的电控柜空间压迫和配线工时增加

传统的问题点

  • 在半导体制造装置中,随着电动机轴数的增加,下一代机型希望减少占地面积。
  • 为了增加轴数,驱动器安装和配线空间以及配线工时都会增加。
  • 由于需要并用2相/5相步进电动机,每个电动机都需要不同的驱动器,导致部件的管理点数增加。
  • 希望统一控制方式为EtherCAT。

解决方案:一台设备同时控制2相和5相的多轴驱动器,减少装置占地面积

在一个设备内同时使用2相/5相步进电动机的情况下,传统上需要为每个电动机准备一套驱动器。
CVD系列 多轴型 EtherCAT对应驱动器可以在一台驱动器上控制4轴电动机,能够同时控制2相和5相步进电动机。通过大幅压缩电控柜空间和省配线,有助于减少占地面积。

一台驱动器同时控制4轴的2相/5相步进电动机

CVD系列 多轴型 EtherCAT对应驱动器能够在一台设备上同时控制2相和5相步进电动机,是4轴驱动器。由于空间效率高,即使增加轴数也不会压迫电控柜空间。

CVD多轴型驱动器的系统构成图

CVD系列多轴型 EtherCAT对应驱动器减少电控柜空间示意图 

传统电控柜空间
减少后的电控柜空间 

驱动器可输入编码器信息,降低系统构成成本

CVD系列 多轴型 EtherCAT对应驱动器安装了不通过上位机器就能获取编码器信息的功能。在使用带编码器的电动机时,可以省去上位机器的高速计数器组合等,从而降低整个装置的成本和简化系统构成。

电磁制动自动控制功能实现省配线化

CVD系列 多轴型 EtherCAT对应驱动器能够实现电动机的电磁制动自动控制。由于不需要制动控制电路,可以减少程序编写时间。驱动器可以直接为电磁制动供电方式,从而实现省配线化。

从驱动器供应传感器电源

CVD系列 多轴型 EtherCAT对应驱动器能够从驱动器供应24V传感器电源,上位系统侧不需要电源。这样可以消除外部配线,减少配线工时。

推荐产品:2相/5相步进电动机用驱动器 CVD系列 多轴型 EtherCAT对应

CVD系列 多轴型 EtherCAT对应

可组合电动机

  • 2相步进电动机 PKP系列 双极
  • 5相步进电动机 PKP/PK系列

可组合电动传动装置

  • 中空旋转传动装置 DH系列
  • 小型电动缸 DRLII系列

● 可以轻松组装到步进电动机的滑动丝杆・树脂螺母的直动机构适配器已经准备就绪。请同时使用。

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