电动滑台 EZS系列 无尘室对应 发尘量相关信息

无尘室对应发尘量

这EZS系列通过使用低发尘洁净润滑油和不锈钢板，提高了气密性，达到了ISO规格3级（相当于FED规格1级）。

噪音的测量方法

洁净度等级依照「JIS B 9926」测量。

测量方法

[ISO规格]

类别/粒径（μm） 第3类
0.1 1000以下
0.3 102以下
0.5 35以下

发尘量与吸引量的相关图（样本数据的实测值）

  • EZS3的发尘量与吸引量的相关图
  • EZS4的发尘量与吸引量的相关图
  • EZS6的发尘量与吸引量的相关图
  • ※ 特性图上的产品名称是为了方便区分而列出的。
    AR系列配备的产品与AZ系列化产品的特性相同。